一 工件描述

工件型號：石英坩堝

噴砂區(qū)域：多晶硅錠外表面

工件尺寸：直徑650mm，高度550mm

產(chǎn)品材質(zhì)：高純度石英

工件重量： <30Kg

工件噴砂前狀態(tài)： 干燥

清理方法: 噴砂

清理目的：清理石英坩堝出爐后表面的余砂。

工藝流程：鑄錠→噴砂 →清洗

二 石英坩堝介紹

石英坩堝可在1450度以下使用，分透明和不透明兩種。用電弧法制的半透明石英坩堝是拉制大直徑單晶硅，發(fā)展大規(guī)模集成電路必不可少的基礎(chǔ)材料。當(dāng)今，世界半導(dǎo)體工業(yè)發(fā)達國家已用此坩堝取代了小的透明石英坩堝。他具有高純度、耐溫性強、尺寸大精度高、保溫性好、節(jié)約能源、質(zhì)量穩(wěn)定等優(yōu)點。石英坩堝鑄造出爐后，表面有一層余砂需要處理干凈，很多公司使用的清理方式為人工打磨。人工打磨具有效率低、不環(huán)保、工人身體受到傷害、而且會把石英坩堝表面打磨壞。做為噴砂行業(yè)的領(lǐng)航者，吉川公司針對石英坩堝專門設(shè)計研發(fā)出一款高效自動噴砂機，石英坩堝自動噴砂機投入用戶使用后，具有效率高、環(huán)保，無污染等效果，得到了石英坩堝用戶的好評。

三  設(shè)備描述

1噴砂室體

2砂料的回收

3 砂料的分選

4噴咀裝置

5輸送系統(tǒng)

6除塵器

7控制系統(tǒng)

8安全裝置

四 噴砂室

噴砂室體能有效防止砂料及粉塵外泄，噴砂室體由冷軋鋼板焊接而成，外表面噴塑，內(nèi)表面貼耐磨膠皮防護，可以有效的保護室內(nèi)的使用壽命。

五 砂料的回收

噴砂后的砂料及粉塵通過風(fēng)力循環(huán)送至儲砂斗。主回砂管由特制的高耐磨無縫鋼管制作而成，管內(nèi)襯托高耐磨的硅膠板，可以保護管道的磨損?；厥辗绞讲捎蒙线M風(fēng)，下抽的形式，有效的把砂料回收到儲砂斗內(nèi)，回收效率可達到到99%。

六 砂料分選

通過回收上來的砂料進入砂料循環(huán)系統(tǒng)，該砂料循環(huán)系統(tǒng)配備了風(fēng)選裝置，通過風(fēng)選裝置，破損的砂料及粉塵被分離出來，風(fēng)選的風(fēng)量大小可以調(diào)整。通過風(fēng)選后的砂料進入到噴砂倉中，粉塵被分離出去，進入到除塵器中。該分選方式是采用重心、高速旋轉(zhuǎn)的方式。

七 噴咀裝置

該噴砂設(shè)備配備了10 套噴咀，分為2組裝置，一組6支，一組4支

-一套夾持6 個噴咀的夾持裝置，負責(zé)噴石英坩堝的左右圓周面

-一套夾持4個噴咀的夾持裝置，  負責(zé)噴石英坩堝的頂圓面

噴嘴可以比較容易的安裝在相應(yīng)的夾具上，

有螺絲固定。維護門能讓操作者便利地進出室體更換工裝夾具。

工件進入工作位置后，所有的噴咀移都由擺動電機擺動，方便工件噴砂的均勻性。

八 輸送系統(tǒng)

采用轉(zhuǎn)盤自動輸送系統(tǒng)，輸送驅(qū)動電機采用變頻調(diào)整，以滿足客戶的工藝需求。轉(zhuǎn)盤自動輸送進出、自動旋轉(zhuǎn)。

九 除塵系統(tǒng)

該設(shè)備配備了一臺干式除塵器，用于清理噴砂過程形成的粉塵，除

塵器安裝于噴砂室體旁邊。

該除塵器為慮筒式除塵器，壓縮空氣通過脈沖閥控制通過慮筒。

經(jīng)除塵器后潔凈的氣體通過換氣扇及消音器直接排出。

粉塵經(jīng)過閘閥落入到底部倉而排到廢料箱。

十 控制系統(tǒng)

控制系統(tǒng)包括一套西門子 的PLC 和一個手持式可以移動的帶觸摸屏輸入單元?？梢苿拥妮斎雴卧糜趪娚俺绦騼Υ妗娚皡?shù)輸入更改及錯誤信息報告。所有相關(guān)的參數(shù)象砂料量、噴砂壓力、氣體消耗量、垂直軸的開始停止位置、噴砂數(shù)量、噴砂時間、噴咀位置狀態(tài)等都將被儲存并進而控制噴砂過程。如果這些參數(shù)中某個出現(xiàn)異常，噴砂過程將自動停止且相關(guān)的錯誤信息會被清晰的顯示出來。

可移動的輸入單元通過一個很長的通信電纜連接到設(shè)備控制盒。該移動單元配備了彩色觸摸屏，所以不需要鍵盤輸送，同時為防止灰塵，為操作者準備了一個特殊的罩子保護該移動輸入單元。