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氮含量

《硅單晶中氮含量的測定二次離子質(zhì)譜法》即將制訂(2019-11-12)

但目前在硅單晶中氮元素的測試方法方面還是空白，無論是紅外光譜法還是二次離子質(zhì)譜法國內(nèi)目前都尚無相關(guān)測試標(biāo)準(zhǔn)，只能借鑒SEMI MF2139-1103進(jìn)行測試。為此，國家相關(guān)機(jī)構(gòu)近期計(jì)劃制定一項(xiàng)有關(guān)于氮…[詳情]

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