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超大規(guī)模集成電路用高純鈦（5N）的研發(fā)及產業(yè)化(2015-04-09)

高純鈦，是指純度在99.95%乃至99.995%以上的鈦。具有密度小，比強度高，彈性模量低(表面硬度)，導熱系數(shù)小，耐腐蝕、耐熱、耐冷、無磁性、無毒等特性，主要應用在半導體大規(guī)模和超大規(guī)模集成電路上?！?a href='http://www.www-49225.com/news/d163644.html' target='_blank' class='iii'>[詳情]