高低溫微型探針臺(tái)電信號(hào)測(cè)試的簡(jiǎn)單介紹
高低溫微型探針臺(tái)電信號(hào)測(cè)試，可預(yù)留接口以備安裝電子閥及流量計(jì)之用，充入其它氣體使用，溫度范圍為77.15K至673.15K（-196攝氏度到400攝氏度）
高低溫微型探針臺(tái)電信號(hào)測(cè)試的詳細(xì)信息
高低溫微型探針臺(tái)電信號(hào)測(cè)試 高低溫探針臺(tái)系統(tǒng)達(dá)到≤10Pa即可進(jìn)行低溫測(cè)試而無(wú)凝露或結(jié)霜。對(duì)于選用了入門(mén)級(jí)配置的用戶(hù)，可選用雙極旋片式機(jī)械泵即可達(dá)到目標(biāo)真空度，從而減少設(shè)備的配置預(yù)算。對(duì)于真空度有更高要求的用戶(hù)，可選用分子泵組對(duì)系統(tǒng)進(jìn)行抽真空。低溫探針臺(tái)系統(tǒng)可達(dá)10-3Pa。也可選配更高真空度的泵組，以滿(mǎn)足測(cè)試要求。 為了減少泵組的振動(dòng)，我們還專(zhuān)門(mén)為用戶(hù)設(shè)計(jì)了隔振器，地衰減泵組工作時(shí)產(chǎn)生的振動(dòng)，以確保系統(tǒng)的穩(wěn)定，減少探針的漂移。
度
高低溫微型探針臺(tái)電信號(hào)測(cè)試 真空腔體 | 類(lèi)型 | 高溫型室溫到350℃ | 高低溫型 室溫到350℃ 室溫到-196℃ | 腔體材質(zhì) | 304不銹鋼 6061鋁合金 可選 | 腔體內(nèi)尺寸 | 127mmX57mmX20mm | 腔體外尺寸 | 150mmX80mmX32mm | 腔體重量 | 不銹鋼材質(zhì) 約1.5KG 鋁合金材質(zhì) 約0.5KG | 腔體上視窗尺寸 | Φ42mm（可選配凹視窗用于減少窗口和樣品之間距離） | 腔體抽氣口 | KF16法蘭（其余接口規(guī)格可轉(zhuǎn)接） | 腔體真空測(cè)量口 | KF16法蘭（其余接口規(guī)格可轉(zhuǎn)接） | 腔體進(jìn)氣口 | 6mm快擰 或 6mm快插 | 腔體冷卻方式 | 腔體水冷+上蓋氣冷 | 腔體水冷接口 |
| 腔體正壓 | ≤0.05MPa | 腔體真空度 | 機(jī)械泵≤5Pa （5分鐘） 分子泵≤5E-3Pa（30分鐘） | 樣品臺(tái) | 樣品臺(tái)材質(zhì) | 不銹鋼 銀銅合金 純銀塊 | 銀銅合金 純銀塊 | 樣品臺(tái)尺寸 | 26x26mm | 樣品臺(tái)加熱方式 | 電阻加熱 | 電阻加熱 液氮制冷 | 樣品臺(tái)-視窗 距離 | 11mm（可選配凹視窗用于減少窗口和樣品之間距離到6mm） | 樣品臺(tái)測(cè)溫傳感器 | PT100型熱電阻 | 樣品臺(tái)溫度 | 室溫到400℃ | 室溫到400℃ 室溫到-196℃ | 樣品臺(tái)測(cè)溫誤差 | ±0.5℃ | 樣品臺(tái)升溫速率 | 高溫100℃/min 低溫7℃/min | 溫控儀 | 溫度顯示 | 7寸人機(jī)界面 | 溫控類(lèi)型 | 標(biāo)準(zhǔn)PID溫控 +自整定 | 溫度分辨率 | 0.1℃ | 溫控精度 | ±0.5℃ | 溫度信號(hào)輸入類(lèi)型 | PT100 （可選K S B型熱電偶） | 溫控輸出 | 直流線(xiàn)性電源加熱 | 直流線(xiàn)性電源加熱+液氮流速控制器 | 輔助功能 | 溫度數(shù)據(jù)采集并導(dǎo)出 實(shí)時(shí)溫度曲線(xiàn)+歷史溫度曲線(xiàn) 可擴(kuò)展真空讀數(shù)接口 | 溫控器尺寸 | 32cmX170cmX380cm | 溫控器重量 | 約5.6KG | 探針 | 電信號(hào)接頭 | 配線(xiàn)轉(zhuǎn)接 BNC接頭 BNC三同軸接頭 SMA 接頭 香蕉插頭 線(xiàn)長(zhǎng)1.2米 | 電學(xué)性能 | 絕緣電阻 ≥4000MΩ 介質(zhì)耐壓 ≤200V 電流噪聲 ≤10pA | 探針數(shù)量 | 4探針（可擴(kuò)展5探針） | 探針材質(zhì) | 鍍金鎢針 （其他材質(zhì)可選） | 探針尖 | 10μm | 手動(dòng)探針移動(dòng)平臺(tái) | X軸移動(dòng)行程 | 20mm ±10mm（需手動(dòng)推動(dòng)滑臺(tái)） | X軸控制精度 | ≥500μm | R軸移動(dòng)行程 | 120° ±60°（需手動(dòng)旋轉(zhuǎn)探針桿） | R軸控制精度 | ≥500μm | Z軸移動(dòng)行程 | 2mm ±1mm | Z軸控制精度 | ≤50μm（需手動(dòng)螺紋調(diào)節(jié)探針桿） |
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