電子無塵車間設計施工的簡單介紹

電子無塵車間設計施工的詳細信息

電子無塵車間要求：

潔凈室(區(qū))設計時，空氣潔凈度等級所處狀態(tài)(空態(tài)、靜態(tài)、動態(tài))應與業(yè)主協(xié)商確定。

各種電子產品生產環(huán)境的空氣潔凈度等級應根據生產工藝要求確定；無要求時，可按本規(guī)范附錄A確定。

潔凈室(區(qū))的溫度和相對濕度應按表3．2 3確定。

潔凈室可根據電子產品生產工藝特點、空氣潔凈度等級和布置要求分為隧道式、開放式和微環(huán)境等，也可按氣流流型分為單向流潔凈室、非單向流潔凈室和混合流潔凈室。

電子工業(yè)潔凈廠房垂直單向流潔凈室的空間，應包括活動地板以下的下技術夾層、潔凈生產層和吊頂以上的上技術夾層。

潔凈廠房內各潔凈室(區(qū))的空氣潔凈度等級，應根據電子產品生產工藝特點和潔凈室型式確定。

有下列情況之一者，凈化空調系統(tǒng)宜分開設置：

1 運行班次或使用時間不同；

2 生產過程中散發(fā)的物質對其他工序、設備交叉污染，對產品質量或操作人員健康、安全有影響；

3 對溫、濕度控制要求差別大；

4 潔凈室(區(qū))內工藝設備發(fā)熱相差懸殊；

5 凈化空調系統(tǒng)與一般空調系統(tǒng)；

6 系統(tǒng)風量過大的凈化空調系統(tǒng)。

潔凈室(區(qū))內的溫度、相對濕度應符合本規(guī)范第3．2．3條的規(guī)定。

潔凈室(區(qū))的清掃方式應根據潔凈廠房的規(guī)模、空氣潔凈度等級等因素確定。潔凈室(區(qū))宜采用移動式高效真空吸塵器。對于空氣潔凈度等級為1～5級的潔凈室宜設置集中式真空吸塵系統(tǒng)，潔凈室內的吸塵系統(tǒng)管道應暗敷。

氣流流型的設計，應符合下列要求：

1 氣流流型應滿足產品生產工藝和空氣潔凈度等級的要求?？諝鉂崈舳鹊燃墳?span lang="EN-US">1～5級時，應采用單向流或混合流；空氣潔凈度等級為6～9級時，宜采用非單向流；

凈化空調系統(tǒng)的型式應根據潔凈廠房的規(guī)模、空氣潔凈度等級和產品生產工藝特點確定。潔凈室(區(qū))面積較小或只有局部要求凈化時，宜采用分散式凈化空調系統(tǒng)，

潔凈廠房的潔凈室(區(qū))送風方式可分為集中送風、隧道送風、風機過濾器機組送風等。應根據潔凈室(區(qū))使用功能和降低能量消耗的要求，經技術經濟比較，采用運行經濟、節(jié)約能源的送風方式。

多套凈化空調系統(tǒng)同時運行或較大型電子工業(yè)潔凈廠房的凈化空調系統(tǒng)的新風，應集中處理。

風機過濾器機組的設置應符合下列要求：

1 應根據空氣潔凈度等級和送風量選用；

2 應按潔凈室(區(qū))內生產工藝對氣流流型的要求布置；

3 終阻力時的疊加噪聲及振動應滿足生產工藝和本規(guī)范的規(guī)定；

4 送風量應能調節(jié)；

5 應便于安裝、維修及過濾器更換。滿布或布置率較高時，外殼強度應滿足檢修要求。

層流罩的設置應符合下列要求：

1 潔凈室(區(qū))內等于或嚴于5級的局部凈化區(qū)域宜采用層流罩；

2 層流罩的形式和進風方式應根據生產工藝或設備需要選用；

3 終阻力時的疊加噪聲及振動應滿足生產工藝和本規(guī)范的規(guī)定；

4 安裝方式不應影響生產操作。

潔凈室(區(qū))的排風系統(tǒng)設計，應符合下列要求：

1 應防止室外氣流倒灌；

2 含有易燃、易爆物質的局部排風系統(tǒng)應按其物理化學性質采取相應防火防爆措施；

3 局部排風系統(tǒng)排出的有害氣體，當其有害物質濃度超過排放標準時，應采取有效處理措施。排氣管高度和排放速率應滿足國家現行有關排放標準的規(guī)定；

4 對含有水蒸氣或凝結物質的排風系統(tǒng)，應設置坡度及排放口；

5 排風介質中含有劇毒物質時，應設置備用排風機和處理設備，并應設置應急電源；

6 排風介質中含易燃、易爆等危險物質或工藝可靠性要求較高時，應設置備用排風機，并應設置應急電源；

7 排除有爆炸危險的氣體和粉塵的局部排風系統(tǒng)，其風量應按在正常運行和事故情況下，風管內爆炸危險氣體和粉塵的濃度不于爆炸下限的20％計；

8 排除有爆炸危險氣體和粉塵的局部排風系統(tǒng)，應設置消除靜電的接地裝置。

凈化空調系統(tǒng)的風管、配件、過濾器以及密封材料等，應根據輸送空氣的潔凈度要求確定，并不得采用釋放對電子產品有影響物質的材料。

在集中設置的空氣過濾器的前后，應設置測壓孔或指針式壓差計。在新風管、送風、回風總管段上，應設置風量測定孔。

風管附件及輔助材料的防火性能，應符合下列規(guī)定：

1 凈化空調系統(tǒng)、排風系統(tǒng)的風管應采用不燃材料制作，但接觸腐蝕性介質的風管和柔性接頭可采用難燃防腐材料制作；

2 排煙系統(tǒng)的風管應采用不燃材料制作；

3 附件、保溫材料和消聲材料等均應采用不燃材料或難燃材料。

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