半導體廠廢氣處理工藝

    （一）酸堿性廢氣

    工藝流程：酸/堿性廢氣→酸/堿式洗滌塔→離心風機→煙囪（達標排放）

    設備介紹

    洗滌塔的工作原理：洗滌塔的結構型式分為立式和臥式。

    立式洗滌塔的工作原理為氣液兩相逆流接觸；含酸堿污染物的廢氣由塔下部進口進入塔內(nèi)向上運動，通過單層或多層填料，廢（尾）氣與液相充分接觸后吸收或中和，干凈的氣體經(jīng)過上層的除霧層排出，從而達到吸收和凈化效果。

    臥式結構的工作原理為氣液兩相交叉流接觸，廢（尾）氣通過填料層段時與液相充分接觸后吸收或中和，從而達到吸收或凈化的效果。

    設備本身包含有洗滌塔本體、填料層、除霧層、循環(huán)水管路，及循環(huán)水箱等。

    （二）有機類廢氣VOCs

    1、工藝流程

    工作原理：待處理的有機混合廢氣經(jīng)引風機作用，先經(jīng)過預處理過濾裝置去除廢氣中的粉塵及雜質(zhì)部分，否則直接吸附會堵塞沸石的微縮孔，從而影響吸附效果甚z失效，經(jīng)過初步過濾后相對純凈的有機廢氣進入沸石轉輪吸附裝置進行吸附凈化處理，有機物質(zhì)被轉輪沸石特有的作用力截留在其內(nèi)部，潔凈氣體排出，經(jīng)過一段時間吸附后，沸石轉輪達到飽和狀態(tài)，轉輪按照一定的速度（每小時1-3轉）自動轉動進入冷卻和高溫脫附區(qū)域。

    沸石轉輪脫附出來的高濃度廢氣直接進入TO直燃式焚燒爐進行焚燒凈化處理，廢氣焚燒后的爐膛燃燒室高溫氣體與內(nèi)部熱交換器進行熱交換預熱進來的脫附廢氣，使脫附廢氣換熱后溫度控制在300-350℃左右進入燃燒室燃燒，燃燒后經(jīng)內(nèi)部換熱器降溫后進入尾部二級煙氣余熱利用裝置，d一級余熱利用裝置用于脫附，升溫后的潔凈氣體進入轉輪脫附區(qū)用于脫附，沸石中的有機物受到熱空氣加熱后從沸石中揮發(fā)出來，此時脫附出來的廢氣屬于濃度高、風量小、溫度高的有機廢氣再進入二級煙氣余熱利用裝置用于將廢氣溫度二次提高，進入TO焚燒爐焚燒處理，再次降低TO焚燒爐焚燒的運行成本。做到真正的節(jié)能、環(huán)保。同時整套裝置安q、可靠、無任何二次污染。