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紫外納米壓印光刻機
光電所自主研制成功紫外納米壓印光刻機(2016-04-06)
近日，中國科學院光電技術研究所微電子專用設備研發(fā)團隊在微納制作設備領域再次發(fā)力，自主研制成功紫外納米壓印光刻機，其成本僅為國外同類設備的三分之一，推進我國微納實用制造水平邁上新的臺階?！?a href='http://www.www-49225.com/news/d174601.html' target='_blank' class='iii'>[詳情]
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