錫企成功填補(bǔ)國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體真空閥門(mén)領(lǐng)域空白。近日，無(wú)錫經(jīng)開(kāi)區(qū)企業(yè)無(wú)錫索奧精密閥門(mén)有限公司自主研發(fā)的半導(dǎo)體真空鐘擺閥完成技術(shù)攻關(guān)，已交付國(guó)內(nèi)頭部客戶并進(jìn)入驗(yàn)證階段，為半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈國(guó)產(chǎn)化進(jìn)程注入新動(dòng)能。

據(jù)介紹，鐘擺閥作為半導(dǎo)體真空閥門(mén)中的高端產(chǎn)品，主要應(yīng)用于半導(dǎo)體芯片制造前端刻蝕與沉積工藝設(shè)備?！耙酝@類(lèi)產(chǎn)品幾乎全部依賴(lài)從瑞士、美國(guó)進(jìn)口?！彼鲓W閥門(mén)運(yùn)營(yíng)副總褚倩透露，這個(gè)“隱匿”于設(shè)備“心臟”的核心部件，國(guó)內(nèi)此前鮮有企業(yè)涉足研發(fā)。在索奧閥門(mén)展廳，記者見(jiàn)到了這款特殊閥門(mén)，產(chǎn)品僅成人兩個(gè)拳頭大小，卻直接影響設(shè)備加工出的晶圓品質(zhì)。而晶圓作為芯片核心原材料之一，其質(zhì)量對(duì)芯片性能至關(guān)重要。

褚倩解釋?zhuān)A制造的工序多在刻蝕與沉積工藝設(shè)備內(nèi)部的“工作間”中，過(guò)程中，設(shè)備會(huì)依據(jù)不同的工序，往其中充入不同的稀有氣體，這便導(dǎo)致“工作間”內(nèi)的壓力常常變化。想要高質(zhì)量的晶圓，壓力穩(wěn)定的制造環(huán)境至關(guān)重要。

如何讓“變”成為“不變”？這便需要閥門(mén)根據(jù)實(shí)際情況快速反應(yīng)、及時(shí)調(diào)節(jié)，達(dá)到精準(zhǔn)“穩(wěn)定全場(chǎng)”的效果。若想讓閥門(mén)的調(diào)節(jié)更敏銳、更精準(zhǔn)，則需要依靠軟件算法為其打造精細(xì)化的控制系統(tǒng)。而算法如何編寫(xiě)，便是其中最大的難點(diǎn)。

為了盡快解決這個(gè)難題，索奧閥門(mén)選擇與擁有十余年技術(shù)積淀的韓國(guó)閥門(mén)公司深度合作，將韓方成熟的閥門(mén)控制技術(shù)與中方團(tuán)隊(duì)快速落地能力高效嫁接。在此基礎(chǔ)上，企業(yè)先完成了真空閥門(mén)中的蝶閥、插板閥研發(fā)并成功推向市場(chǎng)，如今攻克難度更高的鐘擺閥，實(shí)現(xiàn)了國(guó)產(chǎn)市場(chǎng)“零”的突破。與此同時(shí)，索奧閥門(mén)也精心搭建了自己的中國(guó)研究團(tuán)隊(duì)，引進(jìn)了5名資深行業(yè)專(zhuān)家。如今，企業(yè)蝶閥的控壓精度已穩(wěn)定在誤差不超過(guò)0.1%的國(guó)際先進(jìn)水平。目前，這些閥門(mén)的生產(chǎn)與研發(fā)，都在無(wú)錫經(jīng)開(kāi)區(qū)完成。

值得關(guān)注的是，在“產(chǎn)業(yè)園”變身“產(chǎn)業(yè)鏈”的太湖灣信息園，索奧閥門(mén)自去年11月入駐后，通過(guò)園區(qū)的牽線搭橋，與園內(nèi)上下游企業(yè)建立了密切聯(lián)系。在園區(qū)舉辦的半導(dǎo)體沙龍活動(dòng)中，企業(yè)結(jié)識(shí)了同園的做微特電機(jī)的無(wú)錫奕帆微電子有限公司?！拔覀兊漠a(chǎn)品正好需要配套電機(jī)?！瘪屹换貞洠p方經(jīng)洽談一拍即合。目前奕帆微的產(chǎn)品已通過(guò)索奧閥門(mén)送樣驗(yàn)證，未來(lái)有望批量應(yīng)用于系列閥門(mén)產(chǎn)品。此外，在園區(qū)“撮合”下，索奧還與園內(nèi)一家下游的沉積設(shè)備企業(yè)搭上線，雙方正探討深度合作。

“園區(qū)幾乎每?jī)蓚€(gè)月就會(huì)組織一次產(chǎn)業(yè)對(duì)接活動(dòng)?！碧承畔@企業(yè)服務(wù)部相關(guān)負(fù)責(zé)人表示，通過(guò)日常走訪掌握企業(yè)情況與訴求后，園區(qū)會(huì)針對(duì)性邀請(qǐng)投融資機(jī)構(gòu)、產(chǎn)業(yè)鏈上下游企業(yè)參與對(duì)接。就在6月底，無(wú)錫經(jīng)開(kāi)區(qū)集成電路產(chǎn)業(yè)鏈企業(yè)家沙龍?jiān)谔承畔@舉辦，索奧、海浥等十余家集成電路裝備企業(yè)，隱秀資本等投資機(jī)構(gòu)及交通銀行無(wú)錫分行等金融機(jī)構(gòu)參會(huì)。